Types WUD-20, WUD-25, WUD-26

Transducteur Ultra Haute Pureté

Avec afficheur intégré et contacts électriques en option

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Applications

  • Industrie des semiconducteurs, des écrans plats et photovoltaïque
  • Approvisionnement en gaz haute pureté dans des systèmes de production de semi-conducteurs

Particularités

  • Mesure de pression de grande précision 0,15 % RSS
  • Excellente stabilité à long terme
  • Annulation de parasites sur signal et blindage
  • Mesure de pression basée sur une référence de vide
  • Compensation de température active 

Description

Fiable
Les transducteurs Ultra High Purity de la gamme WUD-2x combinent les concepts de transducteur de pointe avec des signaux de sortie analogiques. Ils assurent ainsi les mesures de pression les plus sûres et les plus précises correspondant aux besoins actuels du marché.

La mesure de pression basée sur une référence de vide réelle et des mesures électroniques pour le blindage contre les interférences et l'annulation de
parasites sur signal assurent une mesure de pression de haute précision et une excellente stabilité à long terme.

Une compensation de température active réduit l'impact des changements de température sur le transducteur, permettant une exploitation en toute sécurité même pour les applications avec de fortes fluctuations de température, par exemple l'effet Joule-Thomson dans le cas d'une expansion de gaz.

Les transducteurs WUD-25 (en passage intégral) et WUD-26 (montage en surface) sont spécifiquement conçus pour résister à des contraintes de torsion appliquées se produisant souvent pendant l'installation. La conception spéciale du capteur à couche mince élimine le risque d'une défaillance du capteur en raison de charges au niveau du raccord process ou des joints soudés.

Polyvalent
Le WUD-2x peut être facilement installé dans les systèmes de distribution de gaz “sur l'outil”. L'affichage lumineux du LED est rotatif et facile à lire à partir de n'importe quelle position.

Les opérations de surveillance et de contrôle spécifiques aux applications peuvent être réalisées à l'aide de deux sorties de commutation programmables.

Compact
Avec son faible encombrement, le WUD-2x est le transducteur UHP le plus compact sur ​​le marché. Ainsi, il convient parfaitement pour une installation sur des applications avec un espace de montage limité, et il peut même être aisément intégré sur des installations existantes.

WUD-20, montage simple

WUD-20, montage simple

  • WUD-20, montage simpleWUD-25, débit transversalWUD-26, surface de montage modulaire
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